什么是电子束蒸发镀膜设备?

闪蒸蒸镀_百度百科
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flash evaporation
定  义
把蒸发材料做成粉末,使颗粒一个个进入保持高温的蒸发源中,快速蒸发的镀膜方法。
材料科学技术(一级学科),材料科学技术基础(二级学科),材料合成、制备与加工(三级学科),薄膜制备技术(四级学科)
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蒸发镀膜可以采用哪几种蒸发源?各有哪些优缺点
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钼,因此可以将膜材加热至c。这就为蒸发难熔金属和非金属材料如钨、钼、锗、SiO2,而且对膜的质量要求更加严格。感应加热蒸发源的特点:1)蒸发速率大 2)蒸发源温度均匀稳定,不易产生铝滴飞溅现象 3)蒸发源一次装料,不但对膜的种类要求繁多、钽制作,加热温度较高的特点。2电阻蒸发镀,同时具有一定导电性的难熔金属、石墨等的蒸发,可以使金属膜层材料产生电流将自身加热升温,直至蒸发:电阻蒸发源用于蒸发低熔点材料,如金。同时,这一方法所用的设备比电子束加热装置简单,因而是一种较为廉价的蒸发装置。电子束热源能获得远比电阻热源更大的能量密度。随着薄膜技术的广泛应用、AI2O3等提供了较好的热源。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内:与电子束加热方式相类似的一种加热方式是电弧放电加热法。它也具有可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染、银,操作简单 4)对膜材纯度要求略宽些,这对提高膜的纯度是极为重要的。另外,热传导和热辐射损失少。3.高频感应加热蒸发镀:利用感应加热原理把金属加热到蒸发温度,无须送丝,温度控制比较容易。这种装置的种类很多、硫化锌,数值可达到104-109w/cm2,因而可避免容器材料的蒸发及容器材料与膜材之间的反应、氟化镁、三氧化二铬等。电阻蒸发源一般采用钨,特别适用 于熔点高。将装有膜层材料的坩埚放在螺旋线圈的中央(非接触),在线圈中通以高频电流,热量可直接加到膜材表面上,因此热效率高。电阻蒸发镀已不能满足蒸镀某些金属和非金属的需要.电子束蒸发镀:利用电子束加热使膜材汽化蒸发后,凝结在基片表面成膜是真空蒸镀技术中一种重要的加热方法。4.电弧加热蒸发镀
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您好,我是一个新手,请问一下溅射镀膜和蒸发镀膜有什么区别。
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离子或中性粒子真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射,将蒸发法与溅射法相结合,因此大都采用离子作为轰击粒子。溅射过程建立在辉光放电的基础上,即溅射离子都来源于气体放电。不同的溅射技术所采用的辉光放电方式有所不同。直流二极溅射利用的是直流辉光放电。激光加热是利用大功率的激光作为加热源,但由于大功率激光器的造价很高;射频溅射是利用射频辉光放电;缺点是不适用于难熔金属和耐高温的介质材料。电子束加热和激光加热则能克服电阻加热的缺点。电子束加热上利用聚焦电子束直接对被轰击材料加热,电子束的动能变成热能,即为离子镀。“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面(靶)。真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中,用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度,使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚能,从而使大量分子或原子蒸发或升华,并直接沉淀在基片上形成薄膜。离子溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶,使靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面,造价低廉,操作方便;磁控溅射是利用环状磁场控制下的辉光放电,使固体原子或分子从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态。 溅射镀膜与真空蒸发镀膜相比,有许多优点。如任何物质均可以溅射,使材料蒸发,形成所需要的薄膜。 真空蒸发镀膜最常用的是电阻加热法,其优点是加热源的结构简单,目前只能在少数研究性实验室中使用。 溅射技术与真空蒸发技术有所不同,常称为溅射原子。 此外,因为离子在电场下易于加速获得所需要动能。用于轰击靶的溅射粒子可以是电子。这种方法的优点是得到的膜与基板间有极强的附着力;三极溅射是利用热阴极支持的辉光放电,尤其是高熔点,低蒸气压的元素和化合物;溅射膜与基板之间的附着性好;薄膜密度高;膜厚可控制和重复性好等。缺点是设备比较复杂,需要高压装置
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溅射镀膜就是用荷能离子轰击靶材,使靶材表面的一些原子逸出,逸出的原子沉积在靶材附近的固体表面形成薄膜。真空蒸镀就是在真空容器中,把镀膜材料加热,使其达到大量的原子或分子离开液体或固体表面,经过气态迁移沉积在基片上形成膜层。
前者为离子轰击靶材,然后靶材物质溅射,沉积在基片上。后者物质加热,达到熔点,再达到沸点,蒸发至基片上。
溅射镀膜一般用于工具镀或装饰镀,用来镀五金等。蒸发镀膜一般用在塑胶行业的镀膜上~
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真空蒸发镀膜技术
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真空蒸发(Vacum Fvaporation) 镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。物理过程由物料蒸发输运到基片沉积成膜,其物理过程为: 采用几种能源方式转换成热能,加热镀料使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1~0.3eV) 的气态粒子(原子、分子或原子团); 离开镀料表面,具有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面; 到达基体表面的气态粒子凝聚形核生长成固相薄膜;组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。[1]
蒸发热力学液相或固相的镀料原子或分子要从其表面逃逸出来,必须获得足够的热能,有足够大的热运动。当其垂直表面的速度分量的动能足以克服原子或分子间相互吸引的能量时,才可能逸出表面,完成蒸发或升华。加热温度越高,分子动能越大,蒸发或升华的粒子量就越多。蒸发过程不断地消耗镀料的内能,要维持蒸发,就要不断地补给镀料热能。显然,蒸发过程中,镀料汽化的量(表现为镀料上方的蒸气压) 与镀料受热(温升) 有密切关系。因此,镀层生长速度与镀料蒸发速度密切相关。
蒸发粒子与基材碰撞后一部分被反向,另一部分被吸附。吸附原子在基材表面发生表面扩散,沉积原子之间产生两维碰撞,形成簇团,有的在表面停留一段时间后再蒸发。原子簇团与扩散原子相碰撞,或吸附单原子,或放出单原子,这种过程反复进行。当原子数超过某临界时就变为稳定核,再不断吸附其他及化合物原子而逐步长大,最后与邻近稳定核合并,进而变成连续膜。
郦振声,杨明安.现代表面工程技术:机械工业出版社,2007
清除历史记录关闭光学镀膜是做什么的啊?
光学镀膜是做什么的啊?需要哪些基本知识
光学镜片镀膜一、 耐磨损膜(硬膜) 无论是无机材料还是有机材料制成的眼镜片,在日常的使用中,由于与灰尘或砂砾(氧化硅)的摩擦都会造成镜片磨损,在镜片表面产生划痕.与玻璃片相比,有机材料制成的硬性度比较低,更易产生划痕.通过显微镜,我们可以观察到镜片表面的划痕主要分为二种,一是由于砂砾产生的划痕,浅而细小,戴镜者不容易察觉;另一种是由较大砂砾产生的划痕,深且周边粗糙,处于中心区域则会影响视力. (1)技术特征 1)第一代抗磨损膜技术 抗磨损膜始于20世纪70年代初,当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高,而有机镜片则太软所以容易磨损.因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面,形成一层非常硬的抗磨损膜,但由于其热胀系数与片基材料的不匹配,很容易脱膜和膜层脆裂,因此抗磨损效果不理想. 2)第二代抗磨损膜技术 20世纪80年代以后,研究人员从理论上发现磨损产生的机理不仅仅与硬度相关,膜层材料具有“硬度/形变”的双重特性,即有些材料的硬度较高,但变形较小,而有些材料硬度较低,但变形较大.第二代的抗磨损膜技术就是通过浸泡工艺法在有机镜片的表面镀上一种硬度高且不易脆裂的材料. 3)第三代抗磨损膜技术 第三代的抗磨损膜技术是20世纪90年代以后发展起来的,主要是为了解决有机镜片镀上减反射膜层后的耐磨性问题.由于有机镜片片基的硬度和减反射膜层的硬度有很大的差别,新的理论认为在两者之间需要有一层抗磨损膜层,使镜片在受到砂砾磨擦时能起缓冲作用,并而不容易产生划痕.第三代抗磨损膜层材料的硬度介于减反射膜和镜片片基的硬度之间,其磨擦系数低且不易脆裂. 4)第四代抗磨损膜技术 第四代的抗膜技术是采用了硅原子,例如法国依视路公司的帝镀斯(TITUS)加硬液中既含有有机基质,又含有包括硅元素的无机超微粒物,使抗磨损膜具备韧性的同时又提高了硬度.现代的镀抗磨损膜技术最主要的是采用浸泡法,即镜片经过多道清洗后,浸入加硬液中,一定时间后,以一定的速度提起.这一速度与加硬液的黏度有关,并对抗磨损膜层的厚度起决定作用.提起后在100 °C左右的烘箱中聚合4-5小时,镀层厚约3-5微米. (2)测试方法 判断和测试抗磨损膜耐磨性的最根本的方法是临床使用,让戴镜者配戴一段时间,然后用显微镜观察并比镜片的磨损情况.当然,这通常是在这一新技术正式推广前所采用的方法,目前我们常用的较迅速、直观的测试方法是: 1)磨砂试验 将镜片置于盛有砂砾的宣传品内(规定了砂砾的粒度和硬度),在一定的控制下作来回磨擦.结束后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量,并且与标准镜片作比较. 2)钢丝绒试验 用一种规定的钢丝绒,在一定的压力和速度下,在镜片表面上磨擦一珲的次数,然后用雾度计测试镜片磨擦前后的光线漫反射量,并且与标准镜片作比较.当然,我们也可以手工操作,对二片镜片用同样的压力磨擦同样的次数,然后用肉眼观察和比较. 上述两种测试方法的结果与戴镜者长期配戴的临床结果比较接近. 3)减反射膜和抗磨损膜的关系
镜片表面的减反射膜层是一种非常薄的无机金属氧化物材料(厚度低于1微米),硬且脆.当镀于玻璃镜片上时,由于片基比较硬,砂砾在其上面划过,膜层相对不容易产生划痕;但是减反射膜镀于有机镜片上时,由于片基较软,砂砾在膜层上划过,膜层很容易产生划痕. 因此有机镜片在镀减反射膜前必须要镀抗磨损膜,而且两种膜层的硬度必须相匹配. 二、 减反射膜 (1)为什么需要镀减反射膜? 1)镜面反射
光线通过镜片的前后表面时,不但会产生折射,还会产生反射.这种在镜片前表面产生的反射光会使别人看戴镜者眼睛时,看到的却是镜片表面一片白光.拍照时,这种反光还会严重影响戴镜者的美观. 2)"鬼影"
眼镜光学理论认为眼镜片屈光力会使所视物体在戴镜者的远点形成一个清晰的像,也可以解释为所视物的光线通过镜片发生偏折并聚集于视网膜上,形成像点.但是由于屈光镜片的前后表面的曲率不同,并且存在一定量的反射光,它们之间会产生内反射光.内反射光会在远点球面附近产生虚像,也就是在视网膜的像点附近产生虚像点.这些虚像点会影响视物的清晰度和舒适性. 3)眩光
象所有光学系统一样,眼睛并不完美,在视网膜上所成的像不是一个点,而是一个模糊圈.因此,二个相邻点的感觉是由二个并列的或多或少重叠的模糊圈产生的.只要二点之间的距离足够大,在视网膜上的成像就会产生二点的感觉,但是如果二点太接近,那么二个模糊圈会趋向与重合,被误认为是一个点. 对比度可以用来反映这种现象,表达视力的清晰度.对比值必须大于某一确定值(察觉阈,相当于1-2)才能够确保眼睛辨别二个邻近点. 对比度的计算公式为:D=(a-b)/(a+b)其中C为对比度,二个相邻物点在视网膜上所成像的感觉最高值为a,相邻部份的最低值为b.如果对比度C值越高,说明视觉系统对该二点的分辨率越高,感觉越清晰;如果二个物点非常接近,它们的相邻部分的最低值比较接近于最高值,则C值低,说明视觉系统对该二点感到不清晰,或不能清晰分辨. 让我们来模拟这样一个场景产:夜晚,一位戴眼镜的驾车者清晰地看见对面远处有二辆自行车正冲着他的车骑过来.此时,尾随其后的汽车的前灯在驾车者镜片后表面上产生反射:该反射光在视网膜上形成的像增加了二个被观察点的强度(自行车车灯).所以,a段和b段的长度增加,即然分母(a+b)增加,而分子(a-b)保持不变,于是就引起了C值的减少.对比减小的结果会令驾驶员最初产生的存在二个骑车人的感觉重合成为单一的像,就好比区分它们的角度被突然减小! 4)透过量
反射光占入射光的百分比取决于镜片材料的折射率,可通过反射量的公式进行计算. 反射量公式:R=(n-1)平方/(n+1)平方 R:镜片的单面反射量 n:镜片材料的折射率 例如普通树脂材料的折射率为1.50,反射光R=(1.50-1)平方/(1.50+1)平方=0.04=4%. 镜片有两个表面,如果R1为镜片前表面的量,R2为镜片后表面的反射量,则镜片的总反射量R=R1+R2.(计算R2的反射量时,入射光为100%-R1).镜片的透光量T=100%-R1-R2. 由此可见,高折射率的镜片如果没有减反射膜,反射光会对戴镜者带来的不适感比较强烈. (2)原理 减反射膜是以光的波动性和干涉现象为基础的.二个振幅相同,波长相同的光波叠加,那么光波的振幅增强;如果二个光波原由相同,波程相差,如果这二个光波叠加,那么互相抵消了.减反射膜就是利用了这个原理,在镜片的表面镀上减反射膜,使得膜层前后表面产生的反射光互相干扰,从而抵消了反射光,达到减反射的效果. 1)振幅条件
膜层材料的折射率必须等于镜片片基材料折射率的平方根. 2)位相条件
膜层厚度应为基准光的1/4波长.d=λ/4 λ=555nm时,d=555/4=139nm对于减反射膜层,许多眼镜片生产商采用人眼敏感度较高的光波(波长为555nm).当镀膜的厚度过薄(〈139nm),反射光会显出浅棕黄色,如果呈蓝色则表示镀膜的厚度过厚( 〉139nm). 镀膜反射膜层的目的是要减少光线的反射,但并不可能做到没有反射光线.镜片的表面也总会有残留的颜色,但残留颜色哪种是最好的,其实并没有标准,目前主要是以个人对颜色的喜好为主,较多为绿色色系. 我们也会发现残留颜色在镜片凸面与凹面的曲率不同也使镀膜的速度不同,因此在镜片中央部分呈绿色,而在边缘部分则为淡紫红色或其它颜色. 3)镀减反射膜技术
有机镜片镀膜的难度要比玻璃镜片高.玻璃材料能够承受300 °C以上的高温,而有机镜片在超过100 °C时便会发黄,随后很快分解. 可以用于玻璃镜片的减反射膜材料通常采用氟化镁(MgF2),但由于氟化镁的镀膜工艺必须在高于200°C的环境下进行,否则不能附着于镜片的表面,所以有机镜片并不采用它. 20世纪90年代以后,随着真空镀膜技术的发展,利用离子束轰击技术,使得膜层与镜片的结合,膜层间的结合得到了改良.而且提炼出的象氧化钛,氧化锆等高纯度金属氧化物材料可以通过蒸发工艺镀于树脂镜片的表面,达到良好的减反射效果. 以下对有机镜片的减反射膜镀膜技术作一介绍. 1)镀膜前的准备
镜片在接受镀膜前必须进行预清洗,这种清洗要求很高,达到分子级.在清洗槽中分别放置各种清洗液,并采用超声波加强清洗效果,当镜片清洗完后,放进真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面.最后的清洗是在真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面.最后的清洗是在真空舱内镀前进行的,放置在真空舱内的离子枪将轰击镜片的表面(例如用氩离子),完成此道清洗工序后即进行减反射膜的镀膜. 2)真空镀膜
真空蒸发工艺能够保证将纯质的镀膜材料镀于镜片的表面,同时在蒸发过程中,对镀膜材料的化学成分能严密控制.真空蒸发工艺能够对于膜层的厚度精确控制,精度达到. 3)膜层牢固性
对眼镜片而言,膜层的牢固性是至关重要的,是镜片重要的质量指标.镜片的质量指标包括镜片抗磨损、抗文化馆、抗温差等.因此现在有了许多针对性的物理化学测试方法,在模拟戴镜者的使用条件下,对镀膜镜片进行膜层牢度质量的测试.这些测试方法包括:盐水试验、蒸汽试验、去离子水试验、钢丝绒磨擦试验、溶解试验、黏着试验、温差试验和潮湿度试验等等. 三、 抗污膜(顶膜)
镜片表面镀有多层减反射膜后,镜片特别容易产生污渍,而污渍会破坏减反射膜的减反射效果.在显微镜下,我们可以发现减反射膜层呈孔状结构,所以油污特别容易浸润至减反射膜层.解决的方法是在减反射膜层上再镀一层具有抗油污和抗水性能的顶膜,而且这层膜必须非常薄,以使其不会改变减反射膜的光学性能. (2)工艺 抗污膜的材料以氟化物为主,有二种加工方法,一种是浸泡法,一种是真空镀膜,而最常见的方法是真空镀膜.而最常用的方法是真空镀膜.当减反射膜层完成后,可使用蒸发工艺将氟化物镀于反射膜上.抗污膜可将多孔的减反射膜层覆盖起来,并且能够将水和油与镜片的接触面积减少,使油和水滴不易粘附于镜片表面,因此也称为防水膜. 对于有机镜片而言,理想的表面系统处理应该是包括抗磨损膜、多层减反射膜和顶膜抗污膜的复合膜.通常抗磨损膜镀层最厚,约为3-5mm,多层减反射膜的厚度约为0.3um,顶层抗污腊镀最薄,约为0.005-0.01mm.以法国依视路公司的钻晶(crizal),复合膜为例,在镜片的片基上首先镀上具有有机硅的耐磨损膜;然后采用IPC的技术,用离子轰击进行镀减反射膜前的预清洗;清洗后采用高硬度的二氧化锆(ZrO2)等材料进行多层减反射膜层的真空镀制;最后再镀上具有110的接触角度的顶膜.钻晶复合膜技术的研制成功表明了有机镜片的表面处理技术达到了一个新的高度.
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真空镀膜 主要利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面, 靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜.溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多.新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化, 造成靶与氩气离子间的
舜禹光学水晶光电凤凰光学富士康的普利科技,普利华华国光学南阳利达欧菲光学腾龙光学他们不只是做镀膜的,一般都是镜片全套都做,甚至包括镜头组件都做.
有,请和我们联系,我们专门做光学镀膜技术培训的. 再问: 能有具体点的回答吗? 越详细越好!谢谢!我的邮箱是. 再答: www.OpticsSolution.com上面有详细信息。谢谢!
二、作图要点1.光的反射作图要点:a.物、像关于平面镜对称;b.平面镜是物点和像点连线的垂直平分线;c.反射角等于入射角,法线是反射光线和入射光线夹角的角平分线,且法线与镜面垂直,平面镜成像时,所有反射光线的反向延长线一定经过镜后的像.2.光的折射作图要点:a.凸透镜对光起会聚作用,有三条特殊光线.凹透镜对光起发散作用
如此看来你的溅镀机上是没有实时监控膜厚系统,那没有太好的办法,只能通过溅镀一定厚度后测量,根据镀膜时间推算溅镀速率.不过要注意的是可能你做的厚度不一样最后测出来的速率是有一些偏差的,比如你镀50nm,和镀100nm,可能推算出来的速率就有差距,因为在开始溅镀的前期速率可能不是太稳,机器会自动调整,这样偏差可能就出来了.
1.油污不良应该在镀膜前解决,既然有油污干嘛还要镀膜?!镀膜前的检验干嘛吃的?2.用超声波洗净机洗掉呗3.镀膜车间必须要高质量的无尘车间(标准的30万级)
跟剧,镜片要达到的光学技术指标要求,镀不同的膜,膜的种类很多,增透,分光,反射,滤光,窄带,导电,等等,多少层都可以镀,300层没必要,100多层足已.
镀膜本身对成像没有影响,等曲率的双凸透镜外侧内侧对成像没影响,如果是弯月透镜球差就不一样了.
在光学零件表面上镀上一层或多层光学薄膜的工艺过程.当光线进入不同传递物质时(如由空气进入玻璃),大约有5% 会被反射掉,在光学瞄准镜中有许多透镜和折射镜,整个加起来可以让入射光线损失达30%至40%.现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜,单层增透膜可使反射减少至 1.5%,多层增透膜则可让反射降低至 0.25
真空镀膜是镀膜工艺光学镀膜是镀膜材料
很多镀膜机温度控制没有那么准确,标着350度,实际上都接近400度了,这种机器里的滤光片没有看到脱膜现象,所以400度应该问题不大.但是滤光片里面经常用到Ti的氧化物,这种东西高温会有些发雾,你可以试试看. 再问: 我们用的是溅射机镀膜,就先不考虑性能问题,单说它用此种方式会不会影响脱膜呢? 再答: 我认为膜层不厚应该
概念错误,所谓的长波通是让长波通过,也就是说让大于这个设定波长的光通过.
申通机电有限公司是中环真空泵在东莞是总代理卖有光学镀膜镀膜设备.它主要用于镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系,能够实现100层膜的超大型膜系镀膜.
30005年以上看你的运气!6000-————自己当老板
或许……是如你所说?
不知道你用的是什么接合剂,如果是uv系列的话,可以采用uv曝光机达到脱胶的效果.丙酮也有去胶的效果具体的要看你的是什么类型的胶.
这个是十分必要的,因为镀膜可以保护原厂车漆,我们都知道,4S店的车漆再好,但是还是比不上原厂车漆.而琥珀光学镀膜的效果确实很好,在我们这边名气很大呢!
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