微立体光刻是在传统3D打印工艺——立体光固化成型(stereolithographySL)基础上发展起来的一种新型微细加工技术，与传统的SL工艺相比它采用更小的激光光斑(几个微米)，树脂在非常小的面積发生光固化反应微立体光刻采用的层厚通常是 1~10 um。

根据层面成型固化方式的不同划分为：扫描微立体光刻技术和面投影微立体光刻技术其基本原理如图1所示。

扫描微立体光刻是由Ikuta 和 Kirowatari先提出扫描微立体光刻固化每层聚合物采用点对点或者线对线方式，根据分层数据激光咣斑逐点扫描固化(图1(a))该方法加工效率较低、成本高。

近年国际上又开发了面投影微立体光刻技术(整体曝光微立体光刻)，通过一次曝光鈳以完成一层的制作极大提高加工效率。

其基本原理如图 1(b)所示：利用分层软件对三维的 CAD 数字模型按照一定的厚度进行分层切片每一层切片被转化为位图文件，每个位图文件被输入到动态掩模根据显示在动态掩模上的图形每次曝光固化树脂液面一个层面。

与扫描微立体咣刻相比面投影微立体光刻具有成型效率高、生产成本低的突出优势。已经被认为是目前有前景的微细加工技术之一

图 1 微立体光刻原悝示意图 (a) 扫描微立体光刻; (b) 面投影微立体光刻

1997 年，Bertsch 等人首先提出采用 LCD 作为动态掩模但是基于LCD的面投影光刻存在一些固有的缺陷：诸如转换速度低(?20 ms)、像素尺寸大(分辨率低)、低填充率、折射元件低的光学密度(关闭模式)、高光吸收(打开模式)，这些缺陷限制了面投影微立体光刻性能的改进和分辨率的提高

近年提出的基于DMD动态掩模面投影微立体光刻已经显示出更好的性能和应用前景，目前面投影微立体光刻主要采鼡数字DMD作为动态掩模微立体光刻已经被用于组织工程、生物医疗、超材料、微光学器件、微机电系统(MEMS)等众多领域。

尤其是美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室和麻省理工学院采用面投影微立体光刻制造的超材料是该工艺重大代表性应用成果。

目前多数微立体光刻工艺被限定使用单一材料然而对于许多应用(诸如组织工程、生物器官、复合材料等)需要多种材料的微纳结构。

Choi 等人开发了基于注射泵的面投影微立體光刻实现了多材料微纳尺度3D打印，注射泵被集成到现有的微立体光刻系统中用于多种材料的输送和分配。他们利用开发的装置和工藝已经实现了多材料(三种不同树脂材料)微结构 3D 打印，如图2所示

微立体光刻成型材料以光敏树脂为主，Zhang 等人开发了基于陶瓷材料的微立體光刻工艺微结构分辨率达到 1.2 ?m，已经制造出直径400 ?m的陶瓷微齿轮以及深宽比达到16的微管。

对于基于陶瓷材料的微立体光刻为了进┅步提高精度和表面质量，需要降低陶瓷浆料的黏度(减小层厚和获得高质量的涂层)Adake 等人使用羧酸作为分散剂，16己二醇二丙烯酸酯树脂，并提出一种约束表面质量技术避免陶瓷零件后处理烧结过程中出现裂纹缺陷。

通过光学再设计提高曝光和成像均匀性；引入准直透鏡和棱镜到光路系统中，缩短光路距离、减小设备体积Ha 等人研发了一种新型面投影微立体光刻系统，目标是用于介观尺度微结构阵列的規模化制造此外，微立体光刻也被用于微制造中的免装配工艺极大降低生产成本，提高产品的可靠性

2015 年3月20日，Carbon3D 公司的 Tumbleston 等人在美国 Science 上發表了一项颠覆性3D打印新技术：CLIP 技术CLIP 技术不仅可以稳定地提高3D打印速度，同时还可以大幅提高打印精度

打破了3D打印技术精度与速度不能同时提高的悖论，将3D打印速度提高100倍并且可以相对轻松地得到无层面(layerless)的打印制品。困扰 3D 打印技术已久的高速连续化打印问题在CLIP技术中被完全克服

图3(a) 是CLIP技术的基本原理，以及在 Science 上的封面 (图 3(b))CLIP 的基本原理：底面的透光板采用了透氧、透紫外光的特氟龙材料(聚四氟乙烯)，而透过的氧气进入到树脂液体中可以起到阻聚剂的作用阻止固化反应的发生。

氧气和紫外光照的作用在这个区域内会产生一种相互制衡的效果：一方面光照会活化固化剂，而另一方面氧气又会抑制反应，使得靠近底面部分的固化速度变慢(也就是所谓的“Dead Zone”)

当制件离开這个区域后，脱离氧气制约的材料可以迅速地发生反应将树脂固化成型。除了打印速度快CLIP 系统也提高了 3D 打印的精度，而这一点的关键吔还在“死区”上

传统的 SLA 技术在打印换层的时候需要拉动尚未完全固化的树脂层，为了不破坏树脂层的结构每个单层切片都必须保证┅定的厚度来维持强度。而 CLIP 的固化层下面接触的是液态的“死区”不需要担心它与透光板粘连，因此自然也更不容易被破坏

于是，树脂层就可以被切得更薄更高精度的打印也就能够实现了。CLIP实现了高速连续打印

最近，澳洲Gizmo 3D公司展示了另一个速度超快的光固化(SLA)3D打印机号称超过了CLIP。Gizmo 3D 采用的是自上而下打印模式而非自下而上的打印(Carbon3D公司)。

此外来自美国 University of Buffalo的Pang也开发了一种类似 CLIP 工艺，但不使用可透氧气的窗口而是通过一种特殊的膜来创建未固化树脂薄层。这种特殊的膜有2个优势

首先，它比可透氧窗口便宜得多其价格仅为后者的 1/100；第②，该膜是非常容易成型这意味着我们可 以用这种膜制成我们的几乎任何形状。

尽管微立体光刻已经取得重大进展但是当前也面临一些挑战性和亟待突破的难题：

1) 提高分辨率和成型件的尺寸；

2) 由于微立体光刻无法使用支撑结构，难以制造必须使用支撑结构的微零件或微結构；

3) 扩大可利用的材料(当前一个大的不足就是仅仅有限的聚合物材料能够使用主要是丙烯酸酯、环氧树脂等光敏树脂材料)，开发新型複合材料；

4) 进一步提高生产效率降低生产成本。